Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Thermal ALD of SrTiO3 films using Sr(iPr3Cp)2 and Star-Ti

: Riedel, S.; Sundqvist, J.; Wilde, L.; Boitier, L.; Wilde, C.; Blasco, N.; Lachaud, C.; Zauner, A.; Michaelis, A.

	Baltic ALD 2010 & GerALD 2. CD-ROM : September 16-17, 2010 Hamburg, Germany Hamburg, 2010 S.37
	Baltic ALD Meeting (BALD) <2010, Hamburg> German ALD Meeting (GerALD) <2010, Hamburg>

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	Fraunhofer CNT ()
	ALD