Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Traps and trapping phenomena and their implications on electrical behavior of high-k capacitor stacks

 
: Paskaleva, A.; Lemberger, M.; Atanassova, E.; Bauer, A.J.

:

Journal of vacuum science and technology B. Microelectronics and nanometer structures 29 (2011), Nr.1, Art. 01AA03, 10 S.
ISSN: 0734-211X
ISSN: 1071-1023
ISSN: 2166-2746
ISSN: 2166-2754
Workshop on Dielectrics in Microelectronics (WoDiM) <16, 2010, Bratislava>
Englisch
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-151460.html