Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Metallisierungsverfahren für die 3D Integration in der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik

 
: Hofmann, L.; Ecke, R.; Schulz, S.E.; Gessner, T.

Wielage, B. ; TU Chemnitz, Institut für Werkstoffwissenschaft und Werkstofftechnik:
12. Werkstofftechnisches Kolloquium und 8. Industriefachtagung Oberflächen- und Wärmebehandlungstechnik 2009 : 01.-02.10. 2009, an der TU Chemnitz
Chemnitz: Technische Universität Chemnitz, 2009 (Schriftenreihe Werkstoffe und Werkstofftechnische Anwendungen 35)
ISBN: 978-3-00-029007-7
S.120-125
Werkstofftechnisches Kolloquium <12, 2009, Chemnitz>
Industriefachtagung Oberflächen- und Wärmebehandlungstechnik <8, 2009, Chemnitz>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-151445.html