Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Process development for smart systems integration in MEMS

 
: Ecke, R.; Frömel, J.; Schulz, S.E.; Wiemer, M.; Gessner, T.

MST News (2009), Nr.3, S.36-37
ISSN: 0948-3128
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-151439.html