Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
Process development for smart systems integration in MEMS
:
Ecke, R.
;
Frömel, J.
;
Schulz, S.E.
;
Wiemer, M.
;
Gessner, T.
MST News (2009), Nr.3, S.36-37
ISSN: 0948-3128
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer ENAS
(
)
:
http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-151439.html
