Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Local plasma treatment in a mask aligner for selective wafer surface modification

 
: Eichler, M.; Gabriel, M.

:
Volltext (PDF; )

Suss report (2010), April, S.8-11
Englisch
Zeitschriftenaufsatz, Elektronische Publikation
Fraunhofer IST ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-151347.html