Fraunhofer-Gesellschaft

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Sensing and signal conditioning at 250°C

No longer a problem due to SOI
 
: Trieu, H.-K.; Klieber, R.; Kordas, N.

Sensor-Report (2010), Nr.3, S.12-13
ISSN: 0179-9592
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IMS ()
high temperature electronic; pressure sensor; harsh environment

Abstract
Für die Druckmessung direkt an der Messstelle im Auto, der Geothermie, bei Ölbohrungen, der Luft- und Raumfahrt oder der Prozesstechnik werden zunehmend oft Sensoren und Signalverarbeitungsbausteine verlangt, die Temperaturen jenseits von 150°C dauerhaft verkraften. Die hier vorgestellten Ergebnisse für Druckaufnehmer, die in einem SOI CMOS-Prozess hergestellt wurden, zeigen, dass die Messwerterfassung und Signalaufbereitung bei Temperaturen bis 250°C in Zukunft kein Problem mehr sein muss. Zusammen mit einem neuen Fügeprozess mit Glas bietet das Fraunhofer Institut (IMS) eine vollständige Lösung.

 

Sensing at point of interest including harsh environments as within automobile, geothermal wells, oil drilling, aerospace, space and nuclear power or chemical process control frequently requires electronics with temperature stability beyond 150°C. The trend towards higher integration density resulting in higher power dissipation is a further reason for increasing temperature requirement.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-147788.html