Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Ultrapräzise optische Komponenten mit bearbeitbarer Siliziumschicht

 
: Schürmann, M.; Jobst, P.-J.; Kaiser, N.; Kolbmüller, A.; Müller, S.; Gebhardt, A.; Risse, S.; Eberhardt, R.

Innovent e.V., Jena:
6. Thüringer Grenz- und Oberflächentage (ThGOT) und 2. Thüringer Kolloquium "Dünne Schichten in der Optik" : 7.-9. September 2010, Gera, Deutschland
Jena: Innovent, 2010
ISBN: 978-3-00-031733-0
S.370-371
Thüringer Grenz- und Oberflächentage (ThGOT) <6, 2010, Gera>
Thüringer Kolloquium "Dünne Schichten in der Optik" <2, 2010, Gera>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IOF ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-143505.html