
Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Optical measurement methods for MEMS applications
| Winkler, T. ; Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration -IZM-, Berlin: Materials mechanics, fracture mechanics, micro mechanics : An anniversary volume in honour of B. Michel's 50th birthday Berlin: Fraunhofer IZM, 1999 S.351-358 |
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| Aufsatz in Buch |
| Fraunhofer IZM () |