Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Optical measurement methods for MEMS applications

 
: Großer, V.; Bombach, C.; Faust, W.; Vogel, D.; Michel, B.

Winkler, T. ; Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration -IZM-, Berlin:
Materials mechanics, fracture mechanics, micro mechanics : An anniversary volume in honour of B. Michel's 50th birthday
Berlin: Fraunhofer IZM, 1999
S.351-358
Englisch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IZM ()