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Mikromechanisches Element und Sensor zur Ueberwachung eines mikromechanischen Elements

Micromechanical element has mobile functional element and retaining element, where retaining element and functional element are connected at junction
 
: Klose, T.; Conrad, H.; Grasshoff, T.

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DE 102008049647 A: 20080930
DE 102008049647 A: 20080930
B81B0007
B81B0003
B81B0005
G01L0011
G01B0021
G01P0015
H02N0002
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IPMS ()

Abstract
(A1) Ein mikromechanisches Element umfasst ein bewegliches Funktionselement, ein erstes Halteelement, ein zweites Halteelement, ein drittes Halteelement und ein viertes Halteelement. Das erste Halteelement und das Funktionselement sind dabei an einer ersten Verbindungsstelle, das zweite Halteelement und das Funktionselement an einer zweiten Verbindungsstelle, das dritte Halteelement und das Funktionselement an einer dritten Verbindungsstelle und das vierte Halteelement und das Funktionselement an einer vierten Verbindungsstelle miteinander verbunden. Des Weiteren weisen das erste Halteelement und das zweite Halteelement je ein piezoelektrisches Antriebselement auf, wobei das Antriebselement des ersten Halteelements und das Antriebselement des zweiten Halteelements ausgelegt sind, um das Funktionselement entsprechend einer elektrischen Anregung zu bewegen.

 

DE 102008049647 A1 UPAB: 20100428 NOVELTY - The micromechanical element (100) has a mobile functional element (110) and a retaining element (120), where a retaining element and the functional element are connected at a junction (122). Another retaining element (130) and the functional element are connected at another junction (132). The former retaining element has a piezoelectric drive element (124) and the latter retaining element has another piezoelectric drive element (134). DETAILED DESCRIPTION - INDEPENDENT CLAIMS are included for the following: (1) a sensor for monitoring a micromechanical element; (2) a method for operating the micromechanical element; (3) a method for monitoring a micromechanical element; and (4) a computer program with a program code for the execution of the method. USE - Micromechanical element. ADVANTAGE - The micromechanical element has a mobile functional element and a retaining element, where a retaining element and the functional element are connected at a junction, and hence ensures improved characteristic of the micromechanical element.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-139622.html