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Title
Mikromechanischer Aktuator mit elektrostatischem Kamm-Antrieb
Date Issued
2008
Author(s)
Hofmann, U.
Oldsen, M.
Wagner, B.
Patent No
102008059634
Abstract
(A1) Die vorliegende Erfindung betrifft einen mikromechanischen Aktuator, insbesondere einen Mikrospiegelscanner, mit einer Aktuatoreinheit in einem aeusseren Rahmen, die ueber zwei Torsionselemente in dem aeusseren Rahmen aufgehaengt ist, und elektrostatischen Kippantrieben aus ineinandergreifenden ersten und zweiten kammfoermigen Elektroden, die einen gegenseitigen Hoehenversatz aufweisen. Die ersten Elektroden sind starr mit dem aeusseren Rahmen und die zweiten Elektroden jeweils ueber ein aeusseres Verbindungselement mit dem aeusseren Rahmen und ueber ein inneres Verbindungselement mit der Aktuatoreinheit verbunden. Das innere Verbindungselement weist eine Feder auf, die sich parallel zur aeusseren Kippachse erstreckt, jeweils in einem Bereich der Aktuatoreinheit mit dieser verbunden ist, der nahe an der aeusseren Kippachse liegt, und so ausgebildet und angeordnet ist, dass sie in der vertikalen Richtung starr und quer zur vertikalen Richtung biegsam ist. Der vorgeschlagene mikromechanische Aktuator ermoeglicht einen Einsatz in einem Mikrospiegelscanner bei nichtresonantem Antrieb der langsamen Achse mit Auslenkungen von < +/-7<, lateralen Spiegelgroessen mit Dimensionen von 1 mm und darueber und einer Resonanzfrequenz von < 1 kHz und laesst sich auch in flache Mobiltelefone integrieren.
DE 102008059634 A1 UPAB: 20100614 NOVELTY - The actuator has a torsion-or-bending attachment (18) deflected towards a plane of an outer frame (5) in a vertical direction. Inner connecting elements comprise an U-shaped anchor structure (12) and leaf springs (13) extending parallel to an outer tipping axis. The springs are connected with each other in a region of actuator units such as micro mirror (1), torsion spring (2) and a frame (3), where the region lies closer to the outer tipping axis than at an edge of the units. The springs are formed and arranged such that the springs are bendable transverse to the vertical direction. USE - Micromechanical actuator i.e. biaxial micro mirror scanner (claimed), for a flat mobile telephone. ADVANTAGE - The actuator is designed such that it deflects the micro mirror with an edge length of 1 mm at a natural resonance of 1 kilohertz around plus or minus 7 degree. The actuator is manufactured in a simple and cost-effective manner, and provides hermetic vacuum encapsulation and low power consumption.
Language
de
Patenprio
DE 102008059634 A: 20081128