Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Customized mems process development. A pressure sensor for high temperature and high pressure applications

 
: Goehlich, A.; Vogt, H.; Debusmann, K.; Trieu, H.-K.

Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Duisburg:
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Annual Report 2009
Duisburg: Fraunhofer IMS, 2010
ISSN: 1435-0874
S.42-44
Englisch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-134473.html