Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Numerische Analyse der Spannungsrelaxation nanostrukturierter sili-ziumbasierter optischer Wellenleiter zur Erzeugung nichtlinearer optischer Effekte

 
: Naumann, F.; Schriever, C.; Bohley, C.; Schilling, J.; Petzold, M.

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
Mikro-Nano-Integration. CD-ROM : Beiträge des 2. GMM-Workshops. 3. - 4. März 2010 in Erfurt
Berlin: VDE-Verlag, 2010 (GMM-Fachbericht 63)
ISBN: 978-3-8007-3216-6
S.93-96
Workshop Mikro-Nano-Integration <2, 2010, Erfurt>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IWM ()
strained silicon; stress engineering; optische Wellenleiter; Mikroresonator

Abstract
Neben elektronischen Bauteilen finden SOI-basierende Komponenten aus Silizium ebenso Anwendung bei der Herstel-lung optischer Komponenten der Telekommunikationstechnik. Allerdings ist Silizium ungeeignet für optisch aktive Bau-teile, die auf der Grundlage nichtlinearer Licht-Materie-Wechselwirkung basieren. Durch das Einbringen einer Dehnung bzw. eines Dehnungsgradienten im Material lässt sich dieser Nachteil jedoch aufheben. Ziel der vorgestellten Arbeit ist die strukturmechanische Auslegung von verspannten optischen Silizium-Streifenwellenleiten sowie Mikroresonatoren, um mit Hilfe eines Dehnungsgradienten der zu einer Brechung der Inversionssymmetrie im Silizium führt, nichtlineare optische Effekte zu erzeugen. Aufgrund der im Herstellungsprozess notwendigen Strukturierungen treten Relaxationser-scheinungen der Komponenten auf, welche das Dehnungsfeld beeinflussen. Folgend werden Möglichkeiten zur Modifi-kation des im Wellenleiter resultierenden Dehnungsfeldes vorgestellt.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-133232.html