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Konferenzschrift
Zuverlässigkeit von Komponenten der Mikrosystemtechnik durch Einbeziehung von Nanoanalytik und Nanomechanik
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2005
Conference Paper
Titel
Zuverlässigkeit von Komponenten der Mikrosystemtechnik durch Einbeziehung von Nanoanalytik und Nanomechanik
Author(s)
Michel, B.
Wunderle, B.
Gollhardt, A.
Bombach, C.
Keller, J.
Hauptwerk
Mikro-System-Technik Chemnitz '05: Mikromechanik & Mikroelektronik
Konferenz
Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Mikromechanik und Mikroelektronik 2005
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM