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2009
Conference Paper
Titel
Simulation des Laserabgleichs von Dünnfilmwiderständen mit Widerstandsnetzwerk im Schaltungssimulator
Alternative
Simulation of thin film resistor laser trimming using a resistive network and a circuit simulation program
Abstract
Hochgenaue Analogschaltungen profitieren von stabilen Dünnfilmwiderständen. Das Lasertrimmen ist eine Methode, auch die absolute Genauigkeit des Widerstandswerts einzustellen. Hier wird über eine einfache Methode zur Simulation des Vorgangs berichtet, die den zu trimmenden Dünnfilmwiderstand als ein Netzwerk aus einzelnen Widerständen beschreibt und mit einem analogen Schaltungssimulator berechnet. Der Laserpuls wird durch eine Erhöhung der betroffenen Teilwiderstände emuliert. Der Gesamtwiderstand, das elektrische Potential, Stromverlauf und Verlustleistung lassen sich graphisch darstellen. Ein kleines Programm ResCut setzt die Geometrieinformationen in ein Eingabefile für den Simulator um. Dieser konzeptionell einfache Simulator erlaubt eine schnelle Abschätzung des Trimmvorgangs.
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Precision analogue integrated circuits benefit from stable thin film resistors. Laser trimming may be used to achieve precise absolute resistance values. Simulation of trimming is typically done by specialized numerical solvers. This paper presents a simplified simulation method using a network of resistors as lumped elements. Laser cuts are emulated by locally raising the resistance. The resistor network is evaluated after each cut by a standard circuit simulator. Total resistance, or potential, power and current distributions may be plotted. A small program generates the input file, controls thesimulator and plotting. A conceptually simple simulator results for a quick estimation of precision laser trimming.
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