Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Processing of thin substrates by means of electrostatic carriers

 
: Landesberger, C.; Bollmann, D.; Bock, K.; Drost, A.; Schaber, U.

International Workshop on Thin Semiconductor Devices. Proceedings. CD-ROM
2005
International Workshop on Thin Semiconductor Devices <2005, Munich>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-120536.html