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1% genaue Absolutdrucksensorfamilie mit zweidimensionaler Kalibration

 
: Weiler, D.; Machul, O.; Hammerschmidt, D.; Amelung, J.; Hosticka, B.J.; Mokwa, W.

VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik -GMA-, Düsseldorf:
Sensoren und Meßsysteme : Tagung Ludwigsburg, 13. und 14. März 2000
Düsseldorf: VDI-Verlag, 2000 (VDI-Berichte 1530)
ISBN: 3-18-091530-7
S.329-338
Tagung Sensoren und Meßsysteme <10, 2000, Ludwigsburg>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IMS ()
sensor readout circuit; Druckaufnehmer; Linearisierung; Temperaturkompensation; Kondensator-Schalter-Technik; Kalibriereinrichtung

Abstract
In diesem Beitrag wird eine monolithisch integrierte Absolutdrucksensorfamilie mit "on-chip" oberflächenmikromechanischem kapazitivem Drucksensorelement, Sensorauslese, Linearisierung und Temperaturkompensation vorgestellt. Das Ein-Chip-Sensorsystem erreicht nach einer Kalibration eine Genauigkeit von ±1% (Grenzpunktmethode lt. DIN 16086). Die Temperaturkompensation und Linearisierung wird unter Verwendung der Interpolationseigenschaften von 2 Sigma-Delta-Modulatoren mittels einer zweidimensionalen stückweise linearen Kennlinie realisiert. Durch Einsatz dieser Technik beschränkt sich die Kalibration des Sensorsystems auf wenige Punkte innerhalb des gesamten Druck- und Temperaturbereiches und der Kalibrationsvorgang wird wesentlich verkürzt. Das Sensorsystem wird in einem für die Oberflächenmikromechanik erweiterten 1,2 µm CMOS-Prozeß hergestellt und hat eine Chipfläche von 11,8 mm². Die Leistungsaufnahme beträgt ca. 6 mW.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-1195.html