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Verfahren zum Abscheiden einer Kratzschutzbeschichtung auf einem Kunststoffsubstrat

Removal process for scratchproof coating on plastic substrate involves creating plasma by pulse-driven magnetron
 
: Bartzsch, H.; Frach, P.; Taeschner, K.; Gloess, D.; Gottfried, C.; Fahland, M.

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DE 102008028537 A: 20080616
DE 102008028537 A: 20080616
C23C0016
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer FEP ()

Abstract
(A1) Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abscheiden einer transparenten Kratzschutzbeschichtung auf einem Kunststoffsubstrat mittels einer plasmaunterstuetzten chemischen Dampfabscheidung (PECVD), wobei mindestens ein metallorganischer Precursor und mindestens ein Reaktivgas in eine Vakuumkammer gefuehrt werden, wobei das Plasma mittels eines gepulst betriebenen Magnetrons erzeugt wird und mindestens eine Schicht mit einer ueber die Schichtdicke stetigen oder sprunghaften Veraenderung bezueglich der Schichtzusammensetzung abgeschieden wird.

 

DE 102008028537 A1 UPAB: 20100107 NOVELTY - The removal process, based on plasma-supported chemical steam separation, involves applying at least one metal-organic precursor and at least one gas in a reaction chamber. Plasma is created by a pulse-driven magnetron. At least one layer of constant or varying thickness relative to the combination of layers is removed. USE - For a scratchproof coating on a plastic substrate. ADVANTAGE - Enables scratchproof coating up to 4 mu m to be removed, no heat damage to substrate.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-118904.html