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Verfahren zum Abscheiden einer Gradientenschicht auf einem Kunststoffsubstrat sowie Kunststoffsubstrat mit einer Gradientenschicht

Depositing gradient layer on plastics substrate, e.g. scratch-resistant layer on lens, uses magnetron plasma enhanced chemical vapor deposition to give increasing organic compound content
 
: Bartzsch, H.; Taeschner, K.; Meyer, B.; Frach, P.; Kubusch, J.

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Frontpage ()

DE 102008028540 A: 20080616
DE 102008028540 A: 20080616
C23C0016
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer FEP ()

Abstract
(A1) Die Erfindung betrifft ein Kunststoffsubstrat mit einer Gradientenschicht und ein Verfahren zum stationaeren Abscheiden einer Gradientenschicht auf einem Kunststoffsubstrat mittels einer plasmaunterstuetzten chemischen Dampfabscheidung (PECVD), wobei mindestens ein metallorganischer Precursor und mindestens ein Reaktivgas in eine Vakuumkammer gefuehrt werden, das Plasma mittels eines gepulst betriebenen Magnetrons erzeugt wird und wobei die elektrischen Parameter zum Speisen des Magnetrons und die Gaszuflussmengen in die Vakuumkammer waehrend der Schichtabscheidung nicht veraendert werden.

 

DE 102008028540 A1 UPAB: 20100107 NOVELTY - In the stationary deposition of a gradient layer on a plastics substrate by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD), where organometallic precursor(s) and reactive gas(es) are supplied into a chamber (11), (a) the plasma (17) is generated using a pulse-operated magnetron (16) and (b) the electricity supply parameters for the magnetron and the gas flow quantities into the vacuum chamber are not varied during layer deposition. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is included for a plastics substrate having a gradient layer containing at least carbon, oxygen, hydrogen and a metallic or semimetallic element, where the gradient layer contains organic and inorganic compounds and the ratio of organic to inorganic compounds increases from the substrate to the layer surface. USE - Especially for depositing a scratch-resistant layer on a plastics substrate (claimed), such as a spectacle lens. Specifically the degree of crosslinking and the hardness of the gradient layer increase from the substrate to the layer surface (claimed), so that the layer is both compatible with the (relatively soft) plastics substrate and extremely hard at the exterior surface. The gradient layer may also be e.g. a smoothing, adhesion-promoting, defect covering, water and gas barrier or electrical insulation layer. ADVANTAGE - Gradients layers are deposited using simple technology and with minimized thermal stress on the substrate. Scratch-resistant layers having a thickness of less than 4 mu m can be applied.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-118903.html