Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

End point detection for spin etching machines

 
: Koch, M.; Knobloch, J.

Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Dresden; Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Duisburg; Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, München:
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Annual report 1999
Duisburg: IMS, 2000
ISSN: 1435-0874
S.44-48
Englisch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IMS, Außenstelle Dresden ( IPMS) ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-1185.html