Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Laser water-jet based dicing

 
: Frauenhoffer, F.

European Semiconductor 22 (2000), Nr.4, S.S109-S110
ISSN: 0265-6027
ISSN: 0957-5685
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPA ()
Dicing Technology; laser; Wasserstrahl; Halbleiter; Fertigung; Schneiden

Abstract
An independent survey by the Fraunhofer IPA, Stuttgart, Germany shows promising potential for the latest in dicing technology.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-1176.html