Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Multilayer interference coatings for EUVL

 
: Yulin, S.

Wu, B.:
Extreme ultraviolet lithography
New York, N.Y.: McGraw-Hill, 2009
ISBN: 978-0-07-154918-9
ISBN: 0-07-154918-8
S.225-270
Englisch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IOF ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-113517.html