Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Copper oxide and copper thin films grown by ALD for seed layer applications

 
: Wächtler, T.; Schulz, S.E.

Institute for Microelectronics InterConnection -IMIC-, Tampa, Fla.:
Twenty Fifth International VLSI Multilevel Inerconnection Conference (VMIC) 2008. Proceedings : October 28 - 30, 2008, Fremont Marriott Hotel, Fremont, California
Fremont, Calif., 2008
S.365
International VLSI Multilevel Interconnection Conference (VMIC) <25, 2008, Fremont/Calif.>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-111633.html