Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

MEMS-based spectroscopic ellipsometry

 
: Saupe, R.; Otto, T.; Gruska, B.; Weiss, A.; Stock, V.; Gessner, T.

Gessner, T. ; MESAGO Messe Frankfurt GmbH, Stuttgart:
Smart systems integration 2008 : 2nd European Conference & Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems - MEMS, MOEMS, ICs and Electronic Components, Barcelona, Spain, 9 - 10, April 2008
Berlin: VDE-Verlag, 2008
ISBN: 978-3-8007-3081-0
ISBN: 3-8007-3081-2
S.277-284
European Conference & Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems - MEMS, MOEMS, ICs and Electronic Components <2, 2008, Barcelona>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-111578.html