Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Metallization by chemical vapor deposition of W and Cu

 
: Klumpp, A.; Wieland, R.; Ecke, R.; Schulz, S.E.

:

Garrou, P.:
Handbook of 3D integration. Vol.1 : Technology and applications of 3D integrated circuits
Weinheim: Wiley-VCH, 2008
ISBN: 3-527-32034-2
ISBN: 978-3-527-32034-9
S.157-174
Englisch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer ENAS ()
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-111564.html