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Herstellung von periodischen Oberflächenstrukturen mittels Laserinterferenzstrukturierung

 
: Lasagni, A.; Bieda, M.; Berger, J.; Roch, T.; Menendez-Ormaza, B.S.

Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e.V. -EFDS-:
EFDS Workshop Mikro- und Nanostrukturen an Oberflächen - Herstellung und Anwendungen. Tagungsband : 09. Oktober 2009 in Dresden
Dresden, 2009
8 S.
Workshop "Mikro- und Nanostrukturen an Oberflächen - Herstellung und Anwendungen" <2009, Dresden>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IWS ()
Laserbestrahlung; Oberflächenbeschaffenheit; Strukturierung; Photolack; Photopolymerisation; Mikrostruktur; Nanostruktur; Edelstahl; Titan

Abstract
Metalle, Halbleiter und Polymere mit periodischen Mikro- und Submikrometerstrukturen und neuen elektrischen, mechanischen oder chemischen Materialeigenschaften ermöglichen neue Bauteile wie Biosensoren, fälschungssichere Strukturen, Mikrofluidikgeräte, Schablonen für biologische Strukturen und photonische Strukturen. Die Oberflächenstrukturierung führt außerdem zur Steigerung der Effizienz von Bauteilen durch Verbesserungen von tribologischen und optischen Eigenschaften und Produktveredelung. Maskenlose und schnelle lithographische Methoden wie die Laserinterferenz ermöglichen die Herstellung von großflächigen periodischen zwei- und dreidimensionalen Strukturen. Hier werden verschiedene Ansätze zur Herstellung solcher Strukturen mit zwei interferierenden Laserstrahlen beschrieben, mit denen Defekte vermieden werden. Der Einfluss der doppelten Bestrahlung bei Probenbewegungen wird diskutiert. Beispiele zeigen Interferenzstrukturierungen durch lokale Aufschmelzung bzw. durch lokale Photopolymerisation auf Edelstrahl und Titan bzw. auf Photolacken.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-111557.html