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Optisches Prüfverfahren zur in-situ-Detektion ölbasierter Kontaminationsfilme auf technischen Metalloberflächen

 
: Modrich, K.-U.

Heimsheim: Jost-Jetter Verlag, 2002, 143 S.
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2002
IPA-IAO Forschung und Praxis, 362
ISBN: 3-931388-93-X
Deutsch
Dissertation
Fraunhofer IPA ()
In-Situ-Prüfung; Detektion; Optische Prüfsysteme; optisches Meßverfahren; Prüfung; Oberflächenprüfung; Kontamination

Abstract
Im Rahmen der Arbeit wurden grundlegende Erkenntnisse einer in-situ-Detektion von ölbasierten Kontaminationsfilmen auf technischen Metalloberflächen erarbeitet. Hierzu wurde eine optische Prüfeinrichtung sowie eine auf die Prüfeinrichtung ausgerichtete Prüfmethode entwickelt, welche die Implementierung in die Fertigungsumgebung ermöglicht.
Auf Basis der Nahinfrarot-Spektroskopie wurde ein miniaturisiertes NIR-LED-Photodiodensystem mit elektronischem Filter zur Eliminierung des Umgebungslichts auf Basis einer Vergleichsmessung konzipiert und entwickelt. Resultierend aus dem erarbeiteten Lösungskonzept und den entwickelten Teilsystemen wurde eine Versuchseinrichtung realisiert, mit der sowohl laterale als auch punktuelle Messungen durchgeführt werden können. Durch den implementierten Auswertealgorithmus und die flexible Funktionalität wurde die realisierte Versuchseinrichtung als Basiswerkzeug für die Entwicklung der Prüfmethode und für die Versuche zur Verifizierung des Prüfverfahrens verwendet.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-11151.html