Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Reines Equipment. Mit Strömungssimulation Kontaminationsquellen vermeiden

 
: Bürger, Frank

ReinRaumTechnik 11 (2009), Nr.2, S.18-19
ISSN: 1439-4251
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPA ()
Strömungssimulation; Reinraum; Fertigung; Halbleiter; Mikroelektronik; Kontamination; Teilchen

Abstract
Verschiedene Industriebereiche müssen vermehrt unter definiert reinen Bedingungen fertigen. Dabei ist nicht die Erhöhung des Yields von Bedeutung, sondern problemlose Umsetzung von Produktionsprozessen. Insbesondere Kontaminationen wie luftgetragene bzw. sedimentierte Partikel, Airborne Molecular Contamination sowie elektrostatische Eigenschaften sind ausschlaggebend. Zu den relevanten Branchen gehören die Halbleiterfertigung, die Feinwerktechnik, die Optik, die Mikrosystemfertigung sowie die Medizintechnik.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-110173.html