Fraunhofer-Gesellschaft

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Standardisierungslösungen für ein modulares Fertigungssystem in der Mikrotechnik

Standardising solutions for a modular manufacturing system in micro technology
 
: Bader, U.; Schließer, J.; Hägele, K.-D.; Weinmann, A.

VTE 11 (1999), Nr.6, S.321-325
ISSN: 0946-7777
ISSN: 0935-4441
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPA ()
cluster tool; Standardisierung; Mikrosystemtechnik; PROZESS 2000; automated manufacturing; cleanroom; cleanroom manufacturing; interface; manufacturing; standartization; Schnittstelle; Mikrotechnik; software; Reinraum; Automatisierung; Fertigungssystem

Abstract
Die Mikrotechnik ist eine Schlüsseltechnologie mit sehr großem Innovationspotential. Da derzeit noch große Defizite bei der Gerätetechnik bestehen, wurde im Rahmen des industriellen BMBF-Verbundprojekts PROZESS 2000 ein modulares Fertigungssystem für die Mikrotechnik entwickelt und realisiert. Standardisierungslösungen für die Hardware- und Softwareschnittstellen eines solchen Systems bilden die Grundlage zukünftiger Forschungs- und Entwicklungsarbeiten für die Produktion von Komponenten und Systemen in der Mikrotechnik.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-110.html