Fraunhofer-Gesellschaft

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Fiber-optical interferometer for distance measurements: Investigation of linearity

Linearitätsuntersuchungen eines faseroptischen Distanzmesssystems
 
: Depiereux, Frank; Hamm, Wolfgang; Schmitt, Robert; Mallmann, Guilherme F.

:

Technisches Messen : TM 76 (2009), Nr.7-8, S.374-377
ISSN: 0340-837X
ISSN: 0171-8096 (Print)
ISSN: 2196-7113 (Online)
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPT ()
fiber-optical interferometer; miniaturization; distance measurement; nanometer accuracy; linearity; low coherence; Faseroptisches Interferometer; Miniaturisierung; Distanzmessung; Nanometer-Genauigkeit; Linearität; Kurzkohärenz

Abstract
Thoroughly investigated optical principles like interferometry can be very well combined with the advantages of light guiding fibers. Such a combination enables the realization of unique measurement systems with exceptional features. We present the extended investigation and compensation of the linear behaviour of our fiber-optical distance sensor.

 

Interferometrische Messprinzipien lassen sich sehr gut in faseroptischen Systemen nutzen, wobei deren Kombination den Aufbau von innovativen Messsystemen mit herausragenden Eigenschaften wie Miniaturisierung, Flexibilität und Robustheit ermöglicht. Im Folgenden werden Ergebnisse der Linearitätsuntersuchungen eines hochgenauen faseroptischen Distanzmesssystems präsentiert und eine Kompensationsstrategie des Restfehlers aufgezeigt.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-107717.html