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Interferometer und Verfahren zur Untersuchung einer Oberflaeche eines Objektes mittels eines Interferometers

Object's upper surface area testing method, involves determining phases of wave fronts with wavelengths, and detecting synthetic wave front, which corresponds to different reciprocal value of wavelengths of phases
 
: Fratz, M.; Giel, D.

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DE 102008020584 A: 20080424
DE 102008020584 A: 20080424
G01B0009
G01B0011
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IPM ()

Abstract
(B3) Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Untersuchung einer Oberflaeche eines Objektes mittels eines Interferometers, mit den Schritten Aufteilen eines kohaerenten oder teilkohaerenten Lichtstrahles auf einen Objektstrahlengang und einen Referenzstrahlengang, Ueberlagern einer an der Oberflaeche des zu untersuchenden Objektes reflektierten Lichtwelle und einer Lichtwelle des Referenzstrahlenganges und Auswerten eines durch die Ueberlagerung entstehenden Helligkeitsmusters, wobei ein Phasenobjekt (1) in den Objektstrahlengang oder in den Referenzstrahlengang eingefuehrt wird, um eine Phasenlage der Lichtwelle im Objektstrahlengang oder der Lichtwelle im Referenzstrahlengang zu veraendern, und wobei eine synthetische Wellenlaenge aus mindestens zwei unabhaengigen Messungen des gleichen Messobjekts ermittelt wird.

 

DE 102008020584 B3 UPAB: 20090918 NOVELTY - The method involves segmenting a coherent or partially coherent light beam (2) to object and reference light paths (5). A light wave and a light wave of the reference light path are overlaid on an upper surface area of objects (6). A set of phases of a set of wave fronts is determined with a set of wavelengths, where the wavelengths of the wave fronts are provided opposite to another set of wave fronts by a phase object (1) with a preset optical thickness. A synthetic wave front is detected, which corresponds to different reciprocal value of the wavelengths of phases. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for an interferometer, comprising a beam splitter. USE - Method for testing an upper surface area of an object by an interferometer (claimed) i.e. heterodyne interferometer. ADVANTAGE - The method allows avoiding the determination of the individual wavelengths, and enables a direct determination of the synthetic wavelengths.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-106379.html