Fraunhofer-Gesellschaft

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Flüssigkeitsbasierte Mikromontage mit Nanostrukturen

Liquid-based microassembly with nanostructures
 
: Boufercha, Nourdin; Sägebarth, Joachim; Schlenker, Dirk; Sandmaier, Hermann

Hoffmann, M. ; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
Mikro-Nano-Integration. CD-ROM : Beiträge des 1. GMM-Workshops, 12. - 13. März 2009 in Seeheim
Berlin: VDE-Verlag, 2009 (GMM-Fachbericht 60)
ISBN: 978-3-8007-3155-8
5 S.
Workshop Mikro-Nano-Integration <1, 2009, Seeheim>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Mikromontage; Chipmontage; FLUIDASSEM; Mikrofluidik; Mikrotechnik; Montage; Fluidik

Abstract
Die Handhabung, Positionierung und Montage von Mikrochips, welche kleiner als 500 µm sind, stellen eine Herausforderung für die industrielle Produktion dar. In den dargestellten Forschungsarbeiten zur Mikro-Nano-Integration wird die flüssigkeitsbasierte Montage von Mikrochips, welche auf Effekten der Selbstorganisation beruht, behandelt. Diese Selbstorganisation wird durch den Einsatz von Flüssigkeiten sowie mikro- und nanostrukturierten Oberflächen erreicht und stellt eine Erweiterung und Alternative zum gängigen Pick-and-Place-Verfahren dar. Im Rahmen der Untersuchungen wurden Simulationen, Experimente und mathematische Berechnungen durchgeführt im eine optimale Dimensionierung der strukturierten und konträren Oberflächenbereiche zu ermitteln. Die Auswirkungen eiens atmosphärischen Plasmas auf das Benetzungsverhalten einer Polykarbonatoberfläche wurden untersucht. Die benötigte Zeit für die Positionierung des Flüssigkeitstropfens, welcher die Ausrichtung des Mikrochips durchführt liegt im Bereich weniger Millisekunden.

 

The handling, positioning and assembly of microchips, which are smaller than 500µm, are representing a challenge for industrial production. In the represented research work to the Micro-Nano-Integration the liquid-based assembly of microchips, which is based on effects of the self organization, is treated. This self organization is reached by the use of liquids as well as micro- and nanostructured surfaces and represents an extension and an alternative to the usual Pick and Place procedure. Simulations, experiments and mathematical computations were used to determine an optimal dimesioning of the structured and contrary surface domains. The effects of atmospheric plasma on the wetting behavior of a polycarbonate surface were examined. The necessary time for the postioning of the droplet which accomplishes the adjustment of the microchip is in the range of some milliseconds.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-105154.html