Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Effect of barium contamination on gate oxide integrity in high-k DRAM

 
: Boubekeur, H.; Mikolajick, T.; Nagel, N.; Bauer, A.; Frey, L.; Ryssel, H.

:

Journal of non-crystalline solids 303 (2002), Nr.1, S.12-16
ISSN: 0022-3093
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-85626.html