Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Modellierung von transienten Effekten bei der Diffusion von Bor in Silicium
Modeling of transient effects for diffusing boron into silicon
| Aachen: Shaker, 2002, XIV, 190 S.
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2002
Erlanger Berichte Mikroelektronik, 1/2002
ISBN: 3-8322-0707-4 |
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| Deutsch |
| Dissertation |
| Fraunhofer IIS B ( IISB) () |