Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Modellierung von transienten Effekten bei der Diffusion von Bor in Silicium

Modeling of transient effects for diffusing boron into silicon
 
: Stiebel, D.

Aachen: Shaker, 2002, XIV, 190 S.
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2002
Erlanger Berichte Mikroelektronik, 1/2002
ISBN: 3-8322-0707-4
Deutsch
Dissertation
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-85624.html