Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Entwicklung eines Modelles zur Diffusion von Aluminium in Silicium

Modeling of aluminium diffusion in silicon
 
: Krause, O.

Aachen: Shaker, 2002, X, 156 S. : Ill.
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2002
Erlanger Berichte Mikroelektronik, 4/2002
ISBN: 3-8322-0871-2
Deutsch
Dissertation
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-85621.html