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2002
Doctoral Thesis
Titel
Contamination aspects in integrating high dielectric constant and ferroelectric materials into CMOS processes
Alternative
Kontaminationsaspekte bei der Integration von hoch-epsilon und ferroelektrischen Materialien in CMOS-Prozesse
ThesisNote
Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2002
Verlagsort
Erlangen