Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Abstimmbare Siliziumsensoren zur Vibrationsanalyse mit elektromagnetischer Selbsttest-Funktionalität

 
: Scheibner, D.; Mehner, J.; Brämer, B.; Gessner, T.; Dötzel, W.

TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik:
Mikrosystemtechnik - Mikromechanik & Mikroelektronik : 5. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 23./24. Oktober 2001
Chemnitz: TU Chemnitz, 2001
ISBN: 3-00-008201-8
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik <5, 2001, Chemnitz>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-82734.html