Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Copper metallization scheme for vertical chip integration

 
: Riedel, S.; Ecke, R.; Schulz, S.E.; Gessner, T.; Wieland, R.; Leutenecker, R.; Klumpp, A.; Ramm, P.

Zhang, S.-L.:
Materials for advanced metallization. Proceedings of the Fifth European Workshop on Materials for Advanced Metallization : Sigtuna, Sweden, March 5 - 7, 2001
Amsterdam: Elsevier, 2002 (Microelectronic engineering 60.2001,1/2)
European Workshop on Materials for Advanced Metallization (MAM) <5, 2001, Sigtuna>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IZM ()