Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Ein mikromechanischer Vakuumsensor nach dem Reibungsprinzip

 
: Hiller, K.; Kurth, S.; Zichner, N.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Iwert, T.; Fritsch, H.; Biehl, S.

TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik:
Mikrosystemtechnik - Mikromechanik & Mikroelektronik : 5. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 23./24. Oktober 2001
Chemnitz: TU Chemnitz, 2001
ISBN: 3-00-008201-8
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik <5, 2001, Chemnitz>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-82462.html