Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Large-field ion-optics for projection and proximity printing and for mask-less lithography (ML2)

 
: Löschner, H.; Stengl, G.; Buschbeck, H.; Chalupka, A.; Lammer, G.; Platzgummer, E.; Vonach, H.; Jager, P.W.H. de; Käsmaier, R.; Ehrmann, A.; Hirscher, S.; Wolter, A.; Dietzel, A.; Berger, R.; Grimm, H.; Terris, B.D.; Brünger, W.H.; Adam, D.; Böhm, M.; Eichhorn, H.; Springer, R.; Butschke, J.; Letzkus, F.; Ruchhöft, P.; Wolfe, J.C.

Engelstad, R.L. ; Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers -SPIE-, Bellingham/Wash.:
Emerging Lithographic Technologies VI. Vol.2 : 5 - 7 March 2002, Santa Clara, USA
Bellingham/Wash.: SPIE, 2002 (SPIE Proceedings Series 4688)
ISBN: 0-8194-4434-0
S.595-606
Emerging Lithographic Technologies Conference <6, 2002, Santa Clara/Calif.>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-82410.html