Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Neue Dünnschichtmaterialien für die fortgeschrittene Mikroelektronik

 
: Gessner, T.; Schulz, S.E.

Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft 36 (2001), Nr.1
ISSN: 0420-0195
ISSN: 0372-5448
Deutsche Physikalische Gesellschaft, Arbeitskreis Festkörperphysik (Frühjahrstagung) <2001, Hamburg>
Deutsch
Abstract
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-82407.html