Publica

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Neue Dünnschichtmaterialien für die fortgeschrittene Mikroelektronik

	Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft 36 (2001), Nr.1 ISSN: 0420-0195 ISSN: 0372-5448
	Deutsche Physikalische Gesellschaft, Arbeitskreis Festkörperphysik (Frühjahrstagung) <2001, Hamburg>

	Deutsch
	Abstract
	Fraunhofer IZM ()