Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Charakterisierung von CVD-WNx-Schichten als Barriere gegen Kupferdiffusion

 
: Ecke, R.; Richter, K.; Schulz, S.E.; Gessner, T.

Marx, G. ; Gesellschaft Deutscher Chemiker -GdCh-, Fachgruppe Analytische Chemie:
11. Tagung Festkörperanalytik. Kurzreferateband : Chemnitz, 25. - 28. Juni 2001
Frankfurt am Main: GDCh, 2001
Tagung Festkörperanalytik <11, 2001, Chemnitz>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-82325.html