Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Charakterisierung von CVD-WNx-Schichten als Barriere gegen Kupferdiffusion
| Marx, G. ; Gesellschaft Deutscher Chemiker -GdCh-, Fachgruppe Analytische Chemie:
11. Tagung Festkörperanalytik. Kurzreferateband : Chemnitz, 25. - 28. Juni 2001
Frankfurt am Main: GDCh, 2001 |
| Tagung Festkörperanalytik <11, 2001, Chemnitz> |
|
| Deutsch |
| Konferenzbeitrag |
| Fraunhofer IZM () |