Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Einsatz von Niedertemperaturbondverfahren für die Fertigung von Sensoren

 
: Wiemer, M; Otto, T.; Gessner, T.; Hiller, K.; Kapser, K.; Seidel, H.; Bagdahn, J.; Petzold, M.

TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik:
Mikrosystemtechnik - Mikromechanik & Mikroelektronik : 5. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 23./24. Oktober 2001
Chemnitz: TU Chemnitz, 2001
ISBN: 3-00-008201-8
S.171
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik <5, 2001, Chemnitz>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IZM ()