Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Monolithic integration of vibration sensors in near surface bulk silicon micromachining with microelectronics

 
: Steiniger, D.; Bertz, A.; Gessner, T.

Reichl, H.:
Micro System Technologies 2001 : International Conference & Exhibition on Micro-Electro-, -Opto-, -Mechanical Systems and Components, Düsseldorf, March 27 - 29, 2001
Berlin: VDE-Verlag, 2001
ISBN: 3-8007-2601-7
S.333
International Conference on Micro-, Electro-, Opto-, Mechanical Systems and Components <2001, Düsseldorf>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-79721.html