Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

A new approach for handling and transferring of thin semiconductor materials

 
: Bagdahn, J.; Katzer, D.; Petzold, M.; Wiemer, M.; Alexe, M.; Dragoi, V.; Gösele, U.

Reichl, H.:
Micro System Technologies 2001 : International Conference & Exhibition on Micro-Electro-, -Opto-, -Mechanical Systems and Components, Düsseldorf, March 27 - 29, 2001
Berlin: VDE-Verlag, 2001
ISBN: 3-8007-2601-7
S.449-454
International Conference on Micro-, Electro-, Opto-, Mechanical Systems and Components <2001, Düsseldorf>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IWM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-74604.html