Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Ortsaufgelöste zerstörungsfreie Prüfung der Haftqualität von Silizium-Wafern mit nichtlinearem Ultraschall

 
: Wegner, A.

Saarbrücken, 2001, III, 171 S. : Ill.
Saarbrücken, Univ., Diss., 2001
Deutsch
Dissertation
Fraunhofer IZFP ()
wafer; delamination; Ultraschallprüfung; Fügestelle

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-73489.html