Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Influence of barrier and cap layer deposition on the properties of capped and non-capped porous silicon oxide

 
: Schulz, S.E.; Koerner, H.; Murray, C.; Streiter, I.; Gessner, T.

:

Microelectronic engineering 55 (2001), Nr.1-4, S.45-52
ISSN: 0167-9317
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-73366.html