Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Silicon oxide in Si-Si bonded wafers

 
: Himcinschi, C.; Milekhin, A.; Friedrich, M.; Hiller, K.; Wiemer, M.; Gessner, T.; Schule, S.; Zahn, D.R.T.

:

Applied surface science 175-176 (2001), S.715-720
ISSN: 0169-4332
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-73364.html