Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

A single-crystal Si-resonator with on-chip readout amplifier in standard CMOS

 
: Bertz, A.; Symanzik, H.; Steiniger, C.; Höffer, A.; Griesbach, K.; Stegemann, K.; Ebest, G.; Gessner, T.

:

Sensors and Actuators. A 93 (2001), Nr.2, S.163-172
ISSN: 0924-4247
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-73363.html