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Materialabtrag mittels Laserstrahlung zur Herstellung von dreidimensionalen Mikroformwerkzeugen aus Hartstoffen

	Aachen: Shaker, 2000, IV, 125 S. : Ill. Zugl.: Aachen, TH, Diss., 2000 Berichte aus der Lasertechnik ISBN: 3-8265-8248-9

	Deutsch
	Dissertation
	Fraunhofer ILT ()
	Mikromechanik; Werkzeugbau; Hartstoff; Laserablation