Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Zerstörungsfreie Prüfung der Haftqualität mit Hilfe von nichtlinearem Ultraschall am Beispiel von diffusionsgeschweißten Silizium-Silizium und Silizium-Glas Wafern

 
: Koka, Ashraf

Saarbrücken, 1999, 73 S.
Saarbrücken, Univ., Dipl.-Arb., 1999
Deutsch
Diplomarbeit
Fraunhofer IZFP ()
Haftqualität; Silizium; Ultraschall; Wafer

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-72001.html